韩国公司Chemtronics宣布,将投资高达170亿韩元,以扩大在韩国的EUV光刻胶化学材料生产。此举旨在应对日本对该类产品的出口限制,并满足韩国半导体产业对EUV光刻胶不断增长的需求。与此同时,另一家韩国半导体化学材料商Dongjin Semichem也宣布,计划开发新一代高NA光刻胶,以适应未来ASML EUV光刻机数量增长的需求。这种新型光刻胶将主要用于制造更先进的半导体设备。此外,据报道,韩国SK集团于2020年斥资400亿韩元收购当地锦湖石化的电子材料业务,收购后成立的新子公司SK Materials Performance(SKMP)已开发出一种高厚度KrF光刻胶,并通过了SK海力士的性能验证,这将有利于SK海力士3D NAND闪存的技术开发。
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